4月16日晚間，科創板明星企業中微公司披露2019年年度報告。報告期內公司實現營業收入19.47億元，同比增長18.77%；實現歸屬于上市公司股東的凈利潤1.89億元，同比增長107.51%；同期研發投入合計4.25億元，占營業收入比重為21.81%。

    中微公司董事長尹志堯在年報開篇的致辭中介紹，2019年中微公司繼續瞄準世界科技前沿，在刻蝕設備和MOCVD設備的研發、技術的新應用、市場布局的調整和拓展、新業務的探索和展開等許多方面取得了長足的進展。

    據了解，中微公司的等離子體刻蝕設備已應用在國內外知名廠商55納米到5納米的眾多芯片生產線上。特別是中微的電容性CCP等離子體刻蝕設備，已在國際領先的晶圓生產線核準5納米的若干關鍵步驟加工。

    目前，公司正在開發新一代的電容性等離子體刻蝕設備，可加工先進邏輯器件，包括大馬士革在內的各種刻蝕應用，能夠涵蓋5納米及更先進工藝刻蝕需求和更多關鍵應用。公司的電容性等離子體介質刻蝕設備已應用于64層閃存器件的量產，正在開發新一代涵蓋128層和更先進關鍵刻蝕應用的刻蝕設備和工藝。

    此外，中微公司的電感性ICP等離子刻蝕設備已經在多個邏輯芯片和存儲芯片廠商的生產線上量產，正在進行下一代產品的研發，以滿足7納米以下的邏輯芯片、1X納米的DRAM芯片和128層以上的3DNAND芯片等產品的刻蝕需求。

    據悉，中微公司的MOCVD設備已在全球氮化鎵基LED設備市場中占據領先地位。公司研發的用于制造深紫外光LED的MOCVD設備已在行業領先客戶端驗證成功。用于MiniLED生產的MOCVD設備的研發工作正在有序進行中。制造MicroLED、功率器件等需要的MOCVD設備也在開發中。

    同時，公司兼顧外延性發展，子公司中微匯鏈、中微惠創在新業務拓展領域取得了長足的進展。此外，公司也參股投資了一些具有協同效應潛力的項目。

    談及行業趨勢，中微公司認為，目前國內半導體設備市場主要由歐美、日本等國家的企業所占據。近年來我國半導體設備行業技術水平不斷提高，國產設備在產品性價比、售后服務、地緣等方面的優勢逐漸顯現。作為全球最大的半導體消費市場，市場需求帶動全球產能中心逐步向中國內地轉移，持續的產能轉移帶動了內地半導體市場規模和技術水平的提高，也為我國半導體設備行業的發展提供了機遇。

    展望未來，中微公司表示，公司目前開發的產品以集成電路前道生產的等離子體刻蝕設備、照明應用的薄膜沉積設備等關鍵設備為主，并已逐步開發應用于集成電路后道的先進封裝設備，以及MEMS、MiniLED等應用領域的設備產品。未來，公司將通過投資、并購等外延式增長途徑擴大在集成電路領域及泛半導體領域的產品和市場覆蓋，并繼續探索核心技術在國計民生中創新性的應用，不斷推動企業健康發展。