本報訊 （記者孫文青）6月24日，據(jù)中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）官微消息，公司Primo Menova™12寸金屬刻蝕設(shè)備全球首臺機(jī)順利付運(yùn)國內(nèi)一家重要集成電路研發(fā)設(shè)計(jì)及制造服務(wù)商。

    公開資料顯示，中微公司的12英寸ICP單腔刻蝕設(shè)備Primo Menova™專注于金屬刻蝕，尤其擅長于金屬Al線、Al塊的刻蝕，可廣泛應(yīng)用于功率半導(dǎo)體、存儲器件和先進(jìn)邏輯芯片的制造。

    此項(xiàng)里程碑既標(biāo)志著中微公司在等離子體刻蝕領(lǐng)域的又一自主創(chuàng)新，也彰顯了公司持續(xù)研發(fā)的技術(shù)能力與穩(wěn)步發(fā)展的綜合實(shí)力。目前，公司的等離子體刻蝕設(shè)備已應(yīng)用在國際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米及其他先進(jìn)的集成電路加工制造生產(chǎn)線及先進(jìn)存儲、先進(jìn)封裝生產(chǎn)線。

（編輯 張鈺鵬）